唐太宗以后，高宗、中宗、睿宗都提倡和利用佛教。高宗李治为太子时，即优礼玄奘，为之作《述圣记》，下令建大慈恩寺，在寺内别造翻经院，继续赞助玄奘译经，成为唯识宗的有力支柱。他同时又信奉道教，留道士叶法善于内道场，供养丰厚；又下令“广征诸方道术之士，合炼黄白”(《叶法善传》，《旧唐书》卷一九一)。同时又敕命中天竺沙门那提，往昆仑诸国采取异药；命玄照往迦湿弥罗求取长年婆罗门，为其合“长年药”。中宗李显时，“营造寺观，其数极多，皆务取宏博，竞崇瑰丽”(《韦嗣立传》，《旧唐书》卷八八)。“造寺不止，费财富者数百亿；度人无穷，免租庸者数十万”(《资治通鉴》卷二一○)。以至“百姓劳弊，帑藏为之空竭”(《辛替否传》，《旧唐书》卷一○一)。睿宗李旦佛、道并重，诏令“每缘法事集会，僧、尼、道士、女冠等宜齐行道集”。认为，“释典、玄宗，理均迹异；拯人化俗，教别功齐”(《睿宗本纪》，《旧唐书》卷七)。但把佛教推向一个新的发展高度的，则是女皇武则天。
高宗自显庆(656-661)以后，苦于风疾，百官表奏，皆由则天详决。自此，武则天内辅国政数十年，威势与高宗无异，故时称“二圣”。中宗即位后，她便谋划篡位。垂拱四年(688)，武承嗣伪造瑞石，其文曰：“圣母临人，永昌帝业”，令雍州人唐同泰表称获之于洛水。武则天名此石为“宝图”，后改名为“天授圣图”(《则天皇后本纪》，《旧唐书》卷六)。同年，又有人伪造瑞石于汜水，文有“三六年少唱唐唐，次第还唱武媚娘”；“化佛从空来，摩顶为授记”等，进一步暗示武则天当作天子，并把它说成是佛的意志。
载初元年(689)，有沙门多人表上《大云经》，并造《大云经疏》，陈符命，谓武则天是弥勒下生，当作阎浮提王。现存敦煌残卷《大云经神皇授记义疏》中，有下述文字：“经曰：即以女身，当王国土。……今神皇王南阎浮提，一天下也。”“经曰：女既承正，威伏天下，所有国土，悉来承奉，无违拒者。此明当今大臣及百姓等，尽忠孝者，即得子孙昌炽。”据汤用彤先生考证，此《义疏》即怀义等人所上《大云经疏》。经中所说“即以女身，当王国土”者，即应在当今的武则天。对此，武则天极为满意，大加赏赐，“其撰《疏》僧云宣等九人皆赐爵县公，仍赐紫袈裟、银龟袋”；并“敕两京、诸州各置大云寺一区，藏《大云经》。使僧升高座讲解”(《资治通鉴》卷二○四)。据《旧唐书·则天皇后本纪》说，“有沙门十人伪撰《大云经》，表上之，盛言神皇受命之事”。但据《新唐书·则天武皇后传》说，《大云经》为薛怀义等人所作。但上述言及的《大云经》现已无从查考。仅据经录所载，唐以前已有两种《大云经》的完整译本，即前秦竺佛念所译《大方等无相经》(一名《大云经》)和北凉昙无谶所译《方等大云经》。故汤用彤先生等认为，唐代沙门十人或怀义等表上武则天的《大云经》，当系对以往译本的重抄或改造；至于《大云经疏》，则主要为怀义、法朗、云宣等僧人所撰。
在佛教势力的支持下，天授元年(690)，武则天正式称帝，改国号为周。
长寿二年(693)，菩提流志等译《宝雨经》上武则天。该经是梁代曼陀罗仙所译《宝雨经》的重译，但在内容上有所出入。其中突出的是增添了佛授记“日月光天子”于“摩诃支那国”“现女身为自在主”的一段经文。其卷一说：“尔时东方有一天子，名日月光，乘五色云，来诣佛所”；“(佛告天子)法欲灭时，汝于此瞻部洲东北方摩诃支那国，实是菩萨，故现女身，为自在主。经于多岁，正法教化，兼育众生，犹如赤子”。经文暗示武则天即“故现女身”的东方大菩萨，当为“自在主”即作世间皇帝。当然，译者也因此受到武则天的赏赐。
武则天利用《大云经》和《宝雨经》大做文章。她说：“朕曩劫植因，叨承佛记。金山降旨，《大云》之偈先彰；玉扆披祥，《宝雨》之文后及。加以积善余庆，俯集微躬，遂得地平天成，河清海晏。”(《大周新译大方广佛华严经序》，《全唐文》卷九七)当然，武则天当时直接面对的政敌是李唐家族。为了夺取和巩固皇权，她需要制造各种舆论，其主要措施之一，便是扬佛抑道，用以贬黜李氏的宗族。因此，她即位之始便宣布：“释教开革命之阶，升于道教之上。”(《资治通鉴》卷二○四)武则天统治期间，佛教倍受崇奉，达于极盛。
为推动佛教的发展，武则天打破唐太宗时期由玄奘一统译场的局面，接待各方译经僧，如于阗国实叉难陀、提云般若，中印度地婆诃罗，汉僧义净等，而最著名的是南印度菩提流志。她鉴于禅学在群众中日益上升的影响，令神秀禅师入京行道，亲加礼拜；又征慧安禅师入禁中问道，待以师礼。由她确立的支持“东山法门”的方针，造成了禅宗在全国的迅速发展形势。
对于佛教思想体系，武则天着重扶植的是华严学说。华严宗之所以能够成为历史上一大宗派，直接受益于她的支持。此宗所奉的根本经典《华严经》，把世界描述为无穷无尽、恢宏廓大的圆满境界。其中以“法界”为总相，统摄万有，而万有又各自独存，“圆融自在”。这一思想，颇能表现盛唐时期整个国家博大雄浑和涵容万象的气势。692年，武则天派军收复西域四镇，此后即遣使于阗，求访《华严经》梵本和译家实叉难陀。695年，实叉难陀和菩提流志、义净等于洛阳大遍空寺重译《华严经》，是为八十卷本。译成后，武则天亲制序文，谓该经“添性海之波澜，廓法界之疆域”。此后，她又敕法藏于佛授记寺讲说新译《华严经》，并引对长生殿，敷宣玄义，被封为“贤首菩萨”，冠以“康藏国师”之号。如果联系她在龟兹、疏勒等地建立以汉僧为主体的大云寺，将于阗的实叉难陀请到京师担任译场主译，给以高于其他外来僧侣的特殊优礼等事件，可以说武则天与华严宗的关系，已经超出个人利害的范围，有着更为重要的政治背景。
为了保证佛教的社会地位，武周之世，“铸浮屠，立庙塔，役无虚岁”(《苏环传》，《新唐书》卷一二五)。如，她曾命僧怀义作夹纻大像，据说该像的小指就能容纳数十人。制作期间，日役万人，“所费以万亿计，府藏为之耗竭”(《资治通鉴》卷二○五)。时人狄仁杰上疏批评这种劳民伤财的做法，指出它给社会经济带来的严重后果，说：“今之伽蓝，制过宫阙；穷奢极壮，画缋尽工。宝珠殚于缀饰，瑰材竭于轮奂。”又说：“膏腴美业，倍取其多；水碾庄园，数亦非少。逃丁避罪，并集法门；无名之僧，凡有几万；都下检括，已得数千。”(《狄仁杰传》，《旧唐书》卷八九)张廷珪也指责武则天说：“倾四海之财，殚万人之力，穷山之木为塔，极冶之金为像”，以至“天下虚竭，海内劳弊”(《张廷珪传》，《旧唐书》卷一○一)。这表明，即在当时，武则天的崇佛已引起有识之士的强烈抗议。
由于武则天的崇佛，使当时佛、道力量对比明显有利于佛教，乃至出现道教徒弃道为僧的现象。这一情况到唐玄宗李隆基执政期间又有所调整。
玄宗是著名的道教君主，在他即位之初，曾对佛教多方限制。如他曾令二万多僧尼还俗；并禁止创建佛寺，禁止民间铸像写经。但开元年间是“贞观之风，一朝复振”(《玄宗本纪》，《旧唐书》卷九)的太平盛世，可称唐代的黄金季节。史称其时“烽燧不惊，华戎同轨；冠带百蛮，车书万里”(《新唐书·食货志》)；“家给户足，人无苦窳；四夷来同，海内晏然”(《通典·食货》)。在这种背景下，统治阶级踌躇满志，充满自信，中外文化交流的渠道畅通，容纳各类意识形态而无所顾忌。因此，隋唐已经建立的诸多宗派，继续繁衍昌隆。开元二十四年(736)，玄宗亲为《金刚经》作注，并命颁行天下。当“开元三大士”善无畏、金刚智、不空相继来华时，玄宗给予了很高的荣誉和礼遇，这为另一佛教派别密宗的确立和发展，奠定了基础。
“安史之乱”以后，唐朝内乱迭起，徭役日重，民众纷纷以寺院为逃避之所；帝王为摆脱困境，也多以提倡佛教来安抚百姓，从而使佛教的势力愈益强盛。另一方面，由于寺院与官僚、贵族深相结纳，关系密切，得以规避赋税，则又加深了佛教与世俗地主在经济利益上的矛盾。因此，地主阶级中有识之士的反佛意识不断上升，最终导致唐武宗灭佛事件的出现。
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